Chế Tạo Và Nghiên Cứu Vật Liệu Tổ Hợp Từ Điện Với Lớp Từ Giảo Có Cấu Trúc Nano Và Vô Định Hình Dùng Cho Cảm Biến Từ Trường Micro Tesla

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI

TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ

PHẠM ANH ĐỨC

CHẾ TẠO VÀ NGHIÊN CỨU VẬT LIỆU TỔ HỢP TỪ - ĐIỆN

VỚI LỚP TỪ GIẢO CÓ CẤU TRÚC NANO VÀ VÔ ĐỊNH HÌNH

DÙNG CHO CẢM BIẾN TỪ TRƯỜNG MICRO - TESLA

LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LIỆU VÀ LINH KIỆN NANÔ

HÀ NỘI - 2017

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI

TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ

PHẠM ANH ĐỨC

CHẾ TẠO VÀ NGHIÊN CỨU VẬT LIỆU TỔ HỢP TỪ - ĐIỆN

VỚI LỚP TỪ GIẢO CÓ CẤU TRÚC NANO VÀ VÔ ĐỊNH HÌNH

DÙNG CHO CẢM BIẾN TỪ TRƯỜNG MICRO - TESLA

Chuyên ngành : Vật liệu và linh kiện nanô

Mã số : Chuyên ngành đào tạo thí điểm

LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LIỆU VÀ LINH KIỆN NANÔ

NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC:

1. PGS.TS. Đỗ Thị Hương Giang

2. GS.TS. Nguyễn Hữu Đức

HÀ NỘI - 2017

LỜI CẢM ƠN

Đầu tiên, em xin tỏ lòng biết ơn sâu sắc tới PGS. TS. Đỗ Thị Hương Giang.

Cô là người trực tiếp hướng dẫn, chỉ bảo, động viên và giúp đỡ để em có thể hoàn

thành luận án. Cô không chỉ là người hướng dẫn khoa học mà còn là người truyền

cho em tình yêu và nhiệt huyết với nghiên cứu thông qua tấm gương học tập và làm

việc của bản thân.

Em cũng xin chân thành cảm ơn GS. TS. Nguyễn Hữu Đức. Với kinh nghiệm

của một Giáo sư đầu ngành, Thầy đã đưa ra những lời khuyên và định hướng cần

thiết trong lúc em gặp khó khăn trong nghiên cứu.

Em xin chân thành cảm ơn tập thể các thầy cô, cán bộ trong bộ môn Vật liệu

và linh kiện nano, trong Khoa Vật lý kỹ thuật và Công nghệ nano đã giảng dạy và

giúp đỡ em trong thời gian nghiên cứu tại phòng thí nghiệm.

Xin chân thành cảm ơn NCS Nguyễn Thị Ngọc, NCS Lê Việt Cường, NCS

Nguyễn Xuân Toàn, NCS Lê Khắc Quynh đã giúp đỡ, trao đổi kiến thức và kinh

nghiệm với tôi trong suốt quá trình học tập và nghiên cứu tại trường Đại học

Công Nghệ.

Cuối cùng, con xin gửi lời cảm ơn sâu sắc đến cha mẹ và gia đình đã động

viên, giúp đỡ để con có thể hoàn thành luận án một cách tốt nhất.

Luận án này được hoàn thành với sự hỗ trợ một phần của Đề tài thuộc

chương trình Khoa học và Công nghệ vũ trụ mã số VT/CN-03/13-15 và đề tài cấp

Đại học Quốc gia Hà Nội mã số QG.15.28.

LỜI CAM ĐOAN

Tôi xin cam đoan những nghiên cứu trong luận án là do tôi thực hiện,

bản luận án do tôi viết và không sao chép từ các tài liệu sẵn có. Các số liệu và

kết quả trình bày trong luận án là trung thực và chưa từng được công bố bởi các

luận án khác.

Hà Nội, ngày 10 tháng 05 năm 2016

Tác giả

Phạm Anh Đức

i

MỤC LỤC

DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VIẾT TẮT.....................................................................v

DANH MỤC CÁC BẢNG.............................................................................................vii

DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ, ĐỒ THỊ..................................................................... viii

MỞ ĐẦU ........................................................................................................................1

Chương 1 TỔNG QUAN ...............................................................................................4

1.1. Vật liệu sắt từ, sắt điện và multiferroic .......................................................... 4

1.1.1. Vật liệu sắt điện và hiệu ứng áp điện........................................................... 4

1.1.1.a. Vật liệu sắt điện.....................................................................................4

1.1.1.b. Hiệu ứng áp điện ...................................................................................8

1.1.2. Vật liệu sắt từ và hiệu ứng từ giảo............................................................. 12

1.1.2.a. Vật liệu sắt từ ......................................................................................12

1.1.2.b. Hiệu ứng từ giảo..................................................................................14

1.1.3. Vật liệu mutiferroic.................................................................................... 18

1.2. Hiệu ứng từ-điện............................................................................................. 19

1.2.1. Tổng quan về hiệu ứng từ-điện.................................................................. 19

1.2.2. Hệ số từ-điện.............................................................................................. 20

1.2.3. Liên kết ứng suất bề mặt trong hiệu ứng từ-điện thuận............................. 24

1.3. Vật liệu từ-điện ............................................................................................... 25

1.3.1. Vật liệu từ-điện đơn pha ............................................................................ 26

1.3.2. Vật liệu tổ hợp đa pha................................................................................ 28

1.3.3. Vật liệu tổ hợp đa pha có cấu trúc nano .................................................... 29

1.4. Tổng quan cảm biến từ trường ..................................................................... 30

1.4.1. Cảm biến từ trường dựa trên hiệu ứng Hall............................................... 30

1.4.2. Cảm biến từ trường giao thoa lượng tử siêu dẫn ....................................... 32

ii

1.4.3. Cảm biến từ trường Flux – gate ................................................................. 33

1.4.4. Cảm biến từ trường dựa trên hiệu ứng từ trở............................................. 34

1.4.5. Cảm biến từ trường dựa trên hiệu ứng từ-điện .......................................... 36

1.5. Đối tượng, mục tiêu và nội dung nghiên cứu............................................... 37

1.5.1. Đối tượng nghiên cứu ................................................................................ 37

1.5.2. Mục tiêu nghiên cứu .................................................................................. 38

1.5.3. Nội dung nghiên cứu.................................................................................. 39

Chương 2 PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM.........................................................40

2.1. Chế tạo vật liệu dạng màng TbFeCo/PZT bằng phương pháp phún xạ... 41

2.2. Chế tạo vật liệu tổ hợp Metglas/PZT dạng tấm........................................... 42

2.3. Khảo sát tính chất từ bằng hệ từ kế mẫu rung............................................ 43

2.4. Hệ đo từ giảo ................................................................................................... 44

2.5. Đo hệ số thế từ-điện........................................................................................ 47

2.5.1. Hệ đo thực nghiệm..................................................................................... 47

2.5.2. Phương pháp tính hệ số thế từ-điện thuận ................................................. 48

2.6. Khảo sát hình thái bề mặt bằng hiển vi điện tử........................................... 50

2.7. Khảo sát hình thái bề mặt bằng hiển vi lực nguyên tử ............................... 51

2.8. Kết luận chương 2 .......................................................................................... 51

Chương 3 VẬT LIỆU TỔ HỢP TỪ-ĐIỆN Terfecohan/PZT DẠNG MÀNG VỚI

LỚP VẬT LIỆU TỪ GIẢO CÓ CẤU TRÚC NANO ................................................52

3.1. Vật liệu tổ hợp với lớp từ giảo ở trạng thái vô định hình........................... 53

3.1.1. Cấu trúc tinh thể của lớp từ giảo................................................................ 53

3.1.2. Tính chất từ và từ giảo của màng Terfecohan ........................................... 55

3.1.3. Tính chất từ-điện của vật liệu tổ hợp ......................................................... 58

3.2. Vật liệu tổ hợp với lớp từ giảo ở trạng thái nano tinh thể.......................... 62

3.2.1. Nhiệt độ ủ 3500C........................................................................................ 62

3.2.1.a. Cấu trúc tinh thể của màng Terfecohan ..............................................62

iii

3.2.1.b. Tính chất từ và từ giảo của màng Terfecohan.....................................64

3.2.1.c. Tính chất từ-điện của vật liệu tổ hợp ..................................................66

3.2.2. Nhiệt độ ủ 4500C........................................................................................ 67

3.2.2.a. Cấu trúc tinh thể của màng Terfecohan ..............................................68

3.2.2.b. Tính chất từ của màng Terfecohan......................................................69

3.3. Kết luận chương 3 .......................................................................................... 71

Chương 4 VẬT LIỆU TỔ HỢP TỪ-ĐIỆN Metglas/PZT DẠNG TẤM VỚI LỚP

TỪ GIẢO CÓ CẤU TRÚC VÔ ĐỊNH HÌNH ............................................................73

4.1. Tính chất từ của băng từ Metglas................................................................. 74

4.1.1. Tính chất từ siêu mềm................................................................................ 74

4.1.2. Ảnh hưởng của dị hướng hình dạng đến tính chất từ mềm ....................... 76

4.2. Tính chất từ giảo của băng từ Metglas......................................................... 79

4.2.1. Nghiên cứu tính chất từ giảo tĩnh .............................................................. 79

4.2.2. Ảnh hưởng của dị hướng hình dạng đến tính chất từ giảo ........................ 81

4.3. Sự phụ thuộc của hiệu ứng từ-điện vào tần số kích thích........................... 82

4.3.1. Mẫu hình vuông ......................................................................................... 82

4.3.2. Mẫu hình chữ nhật ..................................................................................... 83

4.3.3. Tính toán lý thuyết quy luật phụ thuộc tần số ........................................... 84

4.3.3.a. Mô hình dao động một chiều...............................................................84

4.3.3.b. Mô hình dao động hai chiều................................................................89

4.4. Ảnh hưởng của cấu hình (bilayer và sandwich).......................................... 94

4.5. Ảnh hưởng của chiều dầy lớp từ giảo Metglas............................................ 96

4.6. Ảnh hưởng của kích thước (mẫu vuông)...................................................... 98

4.6.1. Kết quả thực nghiệm khảo sát hiệu ứng từ-điện........................................ 98

4.6.2. Lý thuyết hiệu ứng “Shear lag” ............................................................... 101

4.7. Ảnh hưởng của tỷ lệ kích thước dài/rộng................................................... 103

iv

4.7.1. Kết quả đo thực nghiệm khảo sát hệ số thế từ-điện................................. 103

4.7.2. Lý thuyết trường khử từ giải thích qui luật phụ thuộc kích thước........... 108

4.8. Kết luận chương 4 ........................................................................................ 111

Chương 5 ỨNG DỤNG..............................................................................................112

5.1. Cảm biến từ trường dựa trên màng mỏng Terfecohan có cấu trúc nano112

5.2. Cảm biến từ trường dựa trên băng từ Metglas có cấu trúc vô định hình116

5.2.1. Thiết kế và chế tạo hệ thống cảm biến đo từ trường ............................... 116

5.2.2. Khảo sát các thông số làm việc của cảm biến ......................................... 119

5.2.2.a. Tần số cộng hưởng ............................................................................119

5.2.2.b. Tín hiệu của cảm biến phụ thuộc vào cường độ từ trường ...............120

5.2.2.c. Tín hiệu cảm biến phụ thuộc vào góc định hướng............................122

5.2.3. Tín hiệu nền (zero offset) và cách khắc phục .......................................... 125

5.2.4. Cảm biến đo góc dựa trên cảm biến đo từ trường 2D ............................. 127

5.2.5. Cảm biến đo từ trường trái đất 3D dựa trên hiệu ứng từ-điện ................. 131

5.3. Kết luận chương 5 ........................................................................................ 134

KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ.....................................................................................135

DANH MỤC CÔNG TRÌNH KHOA HỌC CỦA TÁC GIẢ LIÊN QUAN ĐẾN

LUẬN ÁN ....................................................................................................................138

TÀI LIỆU THAM KHẢO...........................................................................................139

v

DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VIẾT TẮT

AFE Phản sắt điện

AFM Phản sắt từ

��⃗ Véc tơ cảm ứng từ

dik Hệ số áp điện theo phương tác dụng lực (C/N)

ES Điện trường bão hòa

E Cường độ điện trường

EC Lực kháng điện

f Tần số cộng hưởng

FE Sắt điện

FIM Feri từ

FM Sắt từ

H Cường độ từ trường

h0 Biên độ từ trường xoay chiều

hac Cường độ từ trường xoay chiều

Hdc Cường độ từ trường một chiều

L Chiều dài

MEMS Hệ vi cơ điện tử

Metglas Fe76,8Ni1,2B13,2Si8,8

��⃗ Véc tơ từ độ của vật liệu

Mi

s Từ độ tự phát

Mr Độ từ dư

Ms Từ độ bão hòa

Pe Véc tơ phân cực nguyên tử

Pi Véc tơ phân cực ion

Pj Độ lớn véc tơ phân cực điện

Pi

s Véc tơ phân cực ion tự phát

P0 Véc tơ phân cực phân tử

Pr Độ phân cực dư

Ps Độ phân cực bão hòa

PZT Vật liệu áp điện Pb(TiZr)O3

vi

PVDF Pôlime áp điện (PolyVinylidenne DiFlorua)

PT Vật liệu áp điện PbTiO3

Q Hệ số phẩm chất

r Tỷ số kích thước dài/rộng

RAM Bộ nhớ đệm

RF Siêu cao tần

T Nhiệt độ

TC Nhiệt độ Curie

Terfecohan Tb0,4(Fe0,55Co0,45)0,6

VME Thế từ-điện

WFM Sắt từ yếu

W Chiều rộng

αE Hệ số từ-điện

αmax Hệ số từ-điện cực đại

α'mn Tensơ độ cảm từ-điện

α

p

mn Hệ số từ-điện thuận

ε0 Hằng số điện

εk Độ biến dạng tỷ đối

σ Ứng suất tác dụng

��(��0

. ��) Từ giảo khi có tác dụng của từ trường H

λmax Từ giảo cực đại

λS Từ giảo bão hòa

μB Magnton Bohr

ρ Điện trở suất

χM Độ cảm từ (mức độ từ hóa của vật liệu)

χλ Độ cảm từ giảo

vii

DANH MỤC CÁC BẢNG

Bảng 1.1: Lịch sử nghiên cứu về hiệu ứng từ-điện.............................................. 20

Bảng 1.2: Ý nghĩa của các số hạng trong biểu thức năng lượng tự do ................ 24

Bảng 1.3: So sánh nhiệt độ chuyển pha điện và từ của các vật liệu multiferroic

đơn pha [35,64-66]............................................................................................... 27

Bảng 3.1: Tổng hợp các tính chất của màng Terfecohan với các cấu trúc vật liệu

khác nhau.............................................................................................................. 72

Bảng 4.1: Tính chất từ và từ giảo của một số vật liệu từ giảo khác nhau [11].... 80

Bảng 5.1: Tổng hợp tần số cộng hưởng và hệ số phẩm chất của các cảm biến 1D

............................................................................................................................ 120

Bảng 5.2: Liệt kê các công thức xác định góc phương vị trong toàn bộ dải đo. 130

viii

DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ, ĐỒ THỊ

Hình 1.1: Các dạng phân cực khác nhau: phân cực nguyên tử (a), phân cực ion

(b) và phân cực phân tử (c) .................................................................................... 5

Hình 1.2: Vật liệu đa đômen (a), sự dịch chuyển vách đômen (b), vật liệu đơn

đômen (c) và sự quay đômen (d)............................................................................ 6

Hình 1.3: Cấu trúc tinh thể BaTiO3 khi nhiệt độ cao (T > TC) (a) và khi nhiệt độ

thấp (T < TC) (b)..................................................................................................... 7

Hình 1.4: Đường cong điện trễ của vật liệu sắt điện.............................................. 8

Hình 1.5: Mô tả hiệu ứng áp điện: phân cực tự phát (a), phân cực khi chịu ứng

suất nén (b), phân cực khi chịu ứng suất kéo (c) ................................................... 9

Hình 1.6: Hỗn hợp PZT – polymer được phân loại theo các kiểu liên kết khác

nhau: (a) 0 – 3, (b) 2 – 2, (c) 1 - 3........................................................................ 10

Hình 1.7: Cấu trúc tinh thể của vật liệu Perovskite ............................................. 11

Hình 1.8: Sự dịch chuyển của các ion trong tinh thể Perovskite khi có điện

trường ngoài ......................................................................................................... 11

Hình 1.9: Đường cong từ hóa của vật liệu sắt từ ................................................. 14

Hình 1.10: Sơ đồ khối về khái niệm vật liệu multiferroic ................................... 18

Hình 1.11: Sơ đồ phân loại các vật liệu multiferroic và vật liệu từ-điện............. 22

Hình 1.12: Nguyên lý hoạt động của hiệu ứng từ-điện thuận trong vật liệu ....... 24

Hình 1.13: Sơ đồ nguyên lý hoạt động của cảm biến Hall [11]........................... 31

Hình 1.14: Cảm biến từ trường SQUID (a) và cấu tạo của cảm biến (b) ............ 32

Hình 1.15: Sơ đồ cấu tạo của cảm biến flux – gate.............................................. 33

Hình 1.16: Sơ đồ minh họa hiệu ứng từ-điện trở dị hướng [8]............................ 35

Hình 1.17: Hiệu ứng từ-điện trở khổng lồ: khi không có từ trường ngoài (a) và có

từ trường ngoài (b) ............................................................................................... 36

ix

Hình 1.18: Cảm biến từ trường dựa trên hiệu ứng từ-điện [78]........................... 37

Hình 2.1: Vật liệu tổ hợp từ-điện dạng màng ...................................................... 40

Hình 2.2: Cấu hình vật liệu tổ hợp: bilayer (a) và sandwich (b).......................... 40

Hình 2.3: Thiết bị phún xạ catốt (AJA – 2000F) ................................................. 41

Hình 2.4: Bia vật liệu để tạo màng Terfecohan ................................................... 42

Hình 2.5: Ảnh chụp SEM mặt cắt ngang của màng Terfecohan trên đế thủy tinh

.............................................................................................................................. 42

Hình 2.6: Cấu hình bilayer đơn (a), bilayer kép (b) và sandwich (c) .................. 43

Hình 2.7: Vật liệu tổ hợp từ-điện được chế tạo với các kích thước khác nhau ... 43

Hình 2.8: Thiết bị từ kế mẫu rung Lakeshore 7404 ............................................. 44

Hình 2.9: Hệ đo từ giảo phản xạ quang học......................................................... 45

Hình 2.10: Mô hình băng từ dán trên tấm thủy tinh và quá trình biến dạng của

băng từ khi có từ trường tác dụng ........................................................................ 45

Hình 2.11: Sơ đồ nguyên lý hoạt động của hệ đo từ giảo bằng phương pháp phản

xạ quang học ........................................................................................................ 46

Hình 2.12: Hệ đo từ-điện với dải đo từ trường lớn 10 kOe ............................... 47

Hình 2.13: Hệ đo từ-điện trong dải từ trường thấp (-30 đến 30 Oe).................... 48

Hình 3.1: Cấu hình vật liệu Terfecohan/thủy tinh/PZT (a) và Terfecohan/PZT (b)

.............................................................................................................................. 52

Hình 3.2: Ảnh SEM bề mặt của màng Terfecohan: ngay sau khi chế tạo (a) và

sau khi ủ nhiệt tại nhiệt độ 2500C (b)................................................................... 54

Hình 3.3: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng Terfecohan ngay sau khi chế tạo và

sau khi ủ nhiệt tại 2500C ...................................................................................... 54

Hình 3.4: Đường cong từ trễ của màng Terfecohan chế tạo trên đế PZT (a) và

trên đế thủy tinh (b).............................................................................................. 55

x

Hình 3.5: Sự phụ thuộc độ từ giảo của màng Terfecohan ngay sau khi chế tạo vào

từ trường một chiều.............................................................................................. 56

Hình 3.6: Hình thái bề mặt của PZT (a) và bề mặt của thủy tinh (b) được chụp

bằng kính hiển vi lực nguyên tử........................................................................... 56

Hình 3.7: Đường cong từ trễ của màng Terfecohan trên đế thủy tinh ngay sau khi

chế tạo (a) và sau khi ủ nhiệt tại nhiệt độ 2500C (b)............................................ 57

Hình 3.8: Độ cảm từ của màng Terfecohan ngay sau khi chế tạo và sau khi ủ

nhiệt tại nhiệt độ 2500C........................................................................................ 58

Hình 3.9: Sự phụ thuộc của hệ số thế từ-điện vào tần số từ trường xoay chiều .. 59

Hình 3.10: Sự phụ thuộc của thế từ-điện lối ra vào cường độ từ trường xoay

chiều kích thích .................................................................................................... 59

Hình 3.11: Sự phụ thuộc của hệ số thế từ-điện vào từ trường một chiều của cấu

trúc Terfecohan/PZT (a) và cấu trúc Terfecohan/thủy tinh/PZT (b) ................... 60

Hình 3.12: Ứng suất do màng Terfecohan tác dụng lên PZT trên thủy tinh (a) và

trên PZT (b).......................................................................................................... 61

Hình 3.13: Ảnh chụp SEM của màng mỏng Terfecohan ủ nhiệt tại 3500C........ 62

Hình 3.14: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng Terfecohan sau khi ủ nhiệt tại 3500C

.............................................................................................................................. 63

Hình 3.15: Đường cong từ trễ của màng Terfecohan ủ nhiệt tại 3500C .............. 64

Hình 3.16 Sự phụ thuộc của độ cảm từ vào từ trường một chiều của màng

Terfecohan trước và sau khi ủ nhiệt tại 2500C và 3500C..................................... 65

Hình 3.17: Đường cong từ giảo của màng Terfecohan trước và sau khi ủ nhiệt tại

3500C.................................................................................................................... 66

Hình 3.18: Đường cong từ-điện của vật liệu Terfecohan/glass/PZT (màng

Terfecohan dầy 1 µm) trước và sau khi ủ nhiệt tại 3500C................................... 67

Hình 3.19: Ảnh SEM của màng Terfecohan ủ nhiệt tại 4500C............................ 68

xi

Hình 3.20: Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng Terfecohan sau khi ủ nhiệt tại 4500C

.............................................................................................................................. 69

Hình 3.21: Đường cong từ trễ đo theo hai phương song song và vuông góc bề

mặt màng của màng Terfecohan ủ tại 4500C....................................................... 70

Hình 3.22: Sự phụ thuộc của độ cảm từ vào từ trường một chiều của màng

Terfecohan trước và sau khi ủ nhiệt tại các nhiệt độ khác nhau. ......................... 70

Hình 3.23: Sự phụ thuộc của độ cảm từ cực đại vào nhiệt độ ủ .......................... 71

Hình 4.1: Minh họa cấu trúc vật liệu multiferroics từ giảo/áp điện..................... 73

Hình 4.2: Ảnh chụp SEM của vật liệu tổ hợp Metglas/PZT chế tạo bằng phương

pháp kết dính được chụp ở độ phóng đại nhỏ (a) và phóng đại lớn (b)............... 74

Hình 4.3: Đường cong từ trễ của mẫu băng từ Metglas pha Ni hình vuông kích

thước 10×10 mm được thực hiện với từ trường một chiều nằm trong mặt phẳng,

hướng dọc theo chiều dài (L), chiều rộng (W) và theo phương vuông góc với mặt

phẳng băng từ....................................................................................................... 75

Hình 4.4: Đường cong từ trễ của các băng từ Metglas có tỷ số r = L/W khác nhau

với từ trường đặt trong mặt phẳng và dọc theo phương chiều dài mẫu ............... 76

Hình 4.5: Độ cảm từ cực đại của các mẫu băng từ Metglas có tỷ số r = L/W khác

nhau ...................................................................................................................... 77

Hình 4.6: (a) Biểu diễn sự hình thành của các mômen lưỡng cực trong vật liệu bị

từ hoá (b) Cảm ứng từ B, từ độ M và trường khử từ Hd của mẫu bị từ hoá [4]... 78

Hình 4.7: Trường khử từ bên trong một thanh chữ nhật đã được từ hoá

theo phương song song (a) và vuông góc với chiều dài thanh (b)....................... 78

Hình 4.8: Đường cong từ giảo của băng từ kích thước 10x10 đo theo 2 phương

chiều dài và chiều rộng của mẫu.......................................................................... 80

Hình 4.9: Đường cong từ giảo tỉ đối (λ/λmax) của băng từ với các kích thước r =

L/W khác nhau đo trong mặt phẳng mẫu............................................................. 81