Siêu thị PDFTải ngay đi em, trời tối mất

Thư viện tri thức trực tuyến

Kho tài liệu với 50,000+ tài liệu học thuật

© 2023 Siêu thị PDF - Kho tài liệu học thuật hàng đầu Việt Nam

Tài liệu Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian docx
MIỄN PHÍ
Số trang
7
Kích thước
414.2 KB
Định dạng
PDF
Lượt xem
1569

Tài liệu Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian docx

Nội dung xem thử

Mô tả chi tiết

Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian

Cảm biến áp suất mới MEMs dựa trên áp điện trở silicon, được phát triển để đo từ 20Bar

tới trên 1000Bar cho những ứng dụng chuyển động trong không gian. Phần tử silicon có

dạng ống với vị trí ngoài và cầu điện trở được mở rộng với tính ổn định cao để phát hiện

áp suất do ứng suất mang lại, đã được xây dựng bởi chuẩn công nghệ silicon phẳng và

quá trình riêng MEMs, như là liên kết nóng chảy silicon và thuật khắc điện tử.

Hình 1: a, Cảm biến hợp nhất và phần tử cảm biến silicon dạng ống, b, mặt cắt ngang

cầu điện trở

Cảm biến trên có triển vọng ứng dụng trong lĩnh vực gia công thô. Ưu điểm của nó là có

sự khác biệt các thuộc tính quan trọng như kích thước và khoảng cách nhỏ, mức độ cứng

của kim loại, trục đối xứng, tín hiệu đầu ra lớn, đáp ứng nhiệt độ và áp suất nhanh, nhạy

gia tốc thấp. Hiệu ứng trễ cũng đã được giảm thiểu bằng cách loại bỏ vỏ gây ra ứng suất

bởi khoảng cách lớn giữa vùng cảm nhận và vùng chết, hoàn toàn chính xác trong phạm

vi áp suất 700bar và dải nhiệt độ từ -70C tới 1350C là hơn 0,01%FS. Đặc điểm trễ và lặp

lại được đo tới ±10 ppm.

1. Giới thiệu.

Nhà sản xuất Presens tập trung chính vào công nghiệp hoá phù hợp cho những ứng dụng

cho áp suất trung bình và cao như áp suất dầu và gas có yêu cầu về độ chính xác, ổn định

lâu dài và khử độ rung.

Tải ngay đi em, còn do dự, trời tối mất!