Siêu thị PDFTải ngay đi em, trời tối mất

Thư viện tri thức trực tuyến

Kho tài liệu với 50,000+ tài liệu học thuật

© 2023 Siêu thị PDF - Kho tài liệu học thuật hàng đầu Việt Nam

silde bài giảng: phún xạ
MIỄN PHÍ
Số trang
28
Kích thước
3.5 MB
Định dạng
PDF
Lượt xem
872

silde bài giảng: phún xạ

Nội dung xem thử

Mô tả chi tiết

Phún xạ

Lê Tuấn

Đại học Bách khoa Hà Nội

2/2/2006 Đại học Bách khoa Hà Nội 2

Phún xạ (tiếp)

Sơ đồ hệ thống thiết bị phún xạ

Bia

Nước

làm lạnh

Mâm đỡ

bằng Cu Nguyên tử phún xạ

Nguyên tử

Ar nhanh

Đế bán dẫn

Nguyên tử

phún xạ

ngược

Súng ion

Plasma Ar

Tải ngay đi em, còn do dự, trời tối mất!