Siêu thị PDFTải ngay đi em, trời tối mất
Thư viện tri thức trực tuyến
Kho tài liệu với 50,000+ tài liệu học thuật
© 2023 Siêu thị PDF - Kho tài liệu học thuật hàng đầu Việt Nam
MIỄN PHÍ
Số trang
10
Kích thước
1.3 MB
Định dạng
PDF
Lượt xem
762
Phún xạ phần 2 docx
Nội dung xem thử
Mô tả chi tiết
2/2/2006 Đại học Bách khoa Hà Nội 11
Phún xạ (tiếp)
Hệ thống phóng điện cải tiến cho ph n cho phún xạ
Các thông số công nghệ
thường dùng:
Chân không: 10-7 torr
Áp suất hơi Ar: 1 – 5 mtorr
Điện áp: 500 – 1000 V
(một chiều hay xoay chiều
tần số radio)
Tài liệu tương tự (6)
Xem tất cảTải ngay đi em, còn do dự, trời tối mất!