Siêu thị PDFTải ngay đi em, trời tối mất
Thư viện tri thức trực tuyến
Kho tài liệu với 50,000+ tài liệu học thuật
© 2023 Siêu thị PDF - Kho tài liệu học thuật hàng đầu Việt Nam
MIỄN PHÍ
Số trang
10
Kích thước
1.3 MB
Định dạng
PDF
Lượt xem
1421
Tài liệu đang bị lỗi
File tài liệu này hiện đang bị hỏng, chúng tôi đang cố gắng khắc phục.
Phún xạ phần 2 docx
Nội dung xem thử
Mô tả chi tiết
2/2/2006 Đại học Bách khoa Hà Nội 11
Phún xạ (tiếp)
Hệ thống phóng điện cải tiến cho ph n cho phún xạ
Các thông số công nghệ
thường dùng:
Chân không: 10-7 torr
Áp suất hơi Ar: 1 – 5 mtorr
Điện áp: 500 – 1000 V
(một chiều hay xoay chiều
tần số radio)
Tài liệu tương tự (6)
Xem tất cảTải ngay đi em, còn do dự, trời tối mất!